Контакты:

Цели дисциплины: изучение современных операций микро- и нанотехнологии; физической сущности процессов нанесения, удаления и модифицирования вещества; физико-технологических и экономических ограничений миниатюризации и интеграции, а также принципов организации базовых технологических процессов создания компонентов твердотельной электроники и интегральных микросхем.